技术与服务

Technology and Services
  • PVD技术
  • 溅射技术
  • 热蒸发技术
  • 低温ITO技术
  • PECVD技术
  • CVD技术
PVD技术

“物理气相沉积”(PVD)涵盖了薄膜技术领域的特殊工艺。它指代一切在真空基础下运用物理方式在基片表面沉积薄膜的镀膜工艺。

溅射工艺作为最为经济的沉积方法,在众多工艺中被视作标准镀膜技术,广泛应用于多种工业领域。溅射工艺如此流行的主要原因之一,是可以在种类繁多的基材上沉积多种材料。

溅射工艺广泛应用于多种领域,例如,半导体工业表面处理、光学工业偏振滤镜的生产或建筑玻璃工业大面积表面镀膜等。

所有PVD工艺中,用于生长薄膜的材料最初均为固体形式,且常被置于工艺腔室内的某处,比如,溅射靶材中。为使材料气化且随后能以薄膜的形式聚合沉积到基材表面,工艺过程中将应用到多种方式 (例如,使用短时、高能量的射频脉冲、加电弧、通过离子或电子轰击等)。

在热蒸发沉积工艺中,用于生长薄膜的材料将被电加热器加热,直至其转化为气态。PVD方法谱系也包括分子束外延和离子束溅射镀膜。上述方法产出的薄膜纯度超高、均匀性极好,而且对基材的附着力极强。PVD镀膜比传统电化学工艺更为环保,可利用其作为替代传统电化学工艺广泛应用于多种领域。

溅射技术

溅射工艺是PVD(物理气相沉积)薄膜技术的一种。待镀膜材料(溅射靶材)被等离子态的离子轰击,逸出粒子进入气相态,沉积在基材表面并与之紧密粘结,形成一层超薄膜层。该工艺可在多种基材(金属、合金、氧化物和氮化物)表面均匀镀膜;可应用到从半导体硅片到建筑玻璃等广泛领域。 作为薄膜技术领域的常用镀膜方法,溅射沉积工艺在数十年内得到了广泛应用?;愠烧婵帐墙ι浼际趿煊蛉蚨ゼ庵圃焐?,尤其在磁控管应用领域成果卓著。我公司提供反应和非反应磁控溅射特殊专业技术,范围涵盖直流(DC)、脉冲直流(脉冲DC、单极和双极),以及中频(MF)和高频(HF)交流技术等。根据使用材料、相应膜层特性和沉积速率不同,汇成真空设备将综合应用各种不同溅射技术。 汇成真空也自行生产溅射靶材,以确??突Щ竦贸善纺げ愕淖罴阎柿刻逖?。若客户所需镀膜材料无法直接生产或通过单靶反应生成,我们还可提供共溅射技术,即在同一沉积工艺中使用两种或两种以上不同靶材。对于研发型多功能设备而言,仅配备一套靶材的共焦排列磁控共溅射工艺是典型的极具吸引力的解决方案,因为它能够极尽灵活地调整膜层成分。

热蒸发技术

热蒸发沉积工艺支持在基材上制备铜、银或金等金属膜,或二氧化硅及氧化铟锡等其它材料的薄膜。该工艺也适用于有机半导体基材镀膜。热蒸发沉积工艺也被应用于CIGS太阳能电池 (铜、铟、镓、硒共蒸发)以及有机太阳能电池(单体蒸发)的生产。

热蒸发沉积,与溅射沉积类似,也是一种PVD(物理气相沉积)薄膜工艺。过程中,镀料将被加热,直至蒸发(液体)或升华(固体),生成的气相粒子将沉积在基材表面并生长为成品膜层。

热蒸发与其它多数PVD工艺类似,均为高真空工艺,也可实现反应式热蒸发工艺:比如,通过向真空腔室内通入离子化的氧气可提升氧化铟锡的沉积性能。

与其它PVD薄膜工艺不同,热蒸发能够根据不同的蒸发材料和所需膜层性能,实现极高的沉积速率。为保证蒸发工艺参数最佳化,汇成真空可提供配备不同种类蒸发源的设备,比如坩埚或蒸发舟、线性镀或喷镀以及特种蒸发源等。

低温ITO技术

低温20欧姆,膜层透过率>95%,薄膜方阻20±2Ω/□。 用于网格镀膜设备结合特殊后处理技术可在基板温度低于80度的前提下镀制出电阻率接近高温情况下生产的ITO薄膜,而不损伤到基板材料。该技术可用在多种不能在高温状态下生产的基板材料。

PECVD技术

在等离子增强化学气相沉积(PECVD)工艺中,由等离子体辅助化学反应过程。在等离子体辅助下,200 到500°C的工艺温度足以实现成品膜层的制备,因此该技术降低了基材的温度负荷。

等离子可在接近基片的周围被激发(近程等离子法)。而对于半导体硅片等敏感型基材,辐射和离子轰击可能损坏基材。

另一方面,在远程等离子法中,等离子体与基材间设有空间隔断。隔断不仅能够?;せ?,也允许激发混合工艺气体的特定成分。然而,为保证化学反应在被激活的粒子真正抵达基材表面时才开始进行,需精心设计工艺过程。

“低温CVD”工艺应用范围十分广泛,汇成真空在该领域拥有多年经验。对于无法承受高温的基材,PECVD工艺是极具吸引力的替代方案。例如,该工艺支持在塑料膜材上制备功能薄膜。

由于高温下的扩散工艺可能会破坏掺杂剖面,所以PECVD镀膜工艺被广泛应用到半导体领域中。此外,PECVD工艺也可用于制备微电子器件所需的多晶硅、氮化硅或氧化硅等多种复合材料。

汇成真空的PECVD设备可根据客户需求专业定制并根据其预期工艺指标专业适配。我们也经常在溅射设备内配置PECVD工艺???,拓展技术能力?;愠烧婵占呔赫Φ纳璞讣鄹窈妥罴焉璞钢柿恳欢ɑ崾鼓亩?。

CVD技术

化学气相沉积(CVD)是薄膜技术领域常用的成熟工艺。该工艺中,固体材料在气相态下,通过化学反应沉积到被加热的基材表面,形成一层薄膜?;愠烧婵仗峁┰诘缦吆凸庀说然纳铣粱蓟虻?SiC)材质的CVD工艺特殊解决方案。

CVD镀膜是高温工艺,要求温度在500°C及以上,且能量输入极高。工艺腔室中的真空环境能够降低熔点,并在保障前驱体物质转化为气相态的同时,避免不必要的化学反应。

与PVD工艺不同,化学气相沉积允许复杂形状及三维表面的膜层保形。该工艺也能够在硅片表面制备极为精细的结构。

要进行CVD镀膜,前提是找到合适的前驱体,它能够提供工艺腔室中所需膜层的全部成分。比如,氨气和二氯硅烷被用作氮化硅沉积工艺的前驱体,氯化亚锡或有机锡化合物以及氧气或水蒸汽作为前驱体,用于平面玻璃上沉积二氧化锡隔热涂层。二氧化锡也可?;ぢ斯庀低持械牟AЪ?,避免因碰撞或机械应力造成潜在损伤。

基材表面的状态会影响膜层的生长,只有工艺设计合理,才能保障金属材质在基材表面特殊区域内按预期生长;比如,只在导电区域而不在绝缘区域生长。在微电子领域,这种有选择性的镀膜让CVD和PECVD工艺备受欢迎。

汇成真空的CVD设备根据不同客户应用范围及相应工艺指标提供个性化定制。我们经常通过添加CVD/PECVD工艺??橛行卣菇ι涠颇ぜ际跣阅??;愠烧婵找约呔赫Φ牟芳鄹裣蚩突峁┳吭降牟分柿?、优质的用户体验和坚实的组件性能。

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